Генератор плазмы постоянного тока с полым катодом и системой дозирования для получения нанопорошков
Назначение – получение ионизированного пара используемого материала, подаваемого в полый катод в виде порошка с последующей реакцией с ионами углерода, азота и др., для получения наноразмерных порошков различного состава. Применяется в технологических процессах, проводимых при пониженном давлении.
Основные характеристики:
- Рабочий газ – Аргон, расход 500 – 3000 L/h.
- Реакционный газ – азот или органические углеродосодержащие летучие соединения, расход определяется требованиями по стехиометрии получаемого порошка, не более 500 L/h.
- Используемый материал (металлы, полупроводники, и т.п.) подаётся в виде порошка с размером частиц от 0.1 до 500 mM.
- Максимальная электрическая мощность – 50 kVA.
- Максимальный рабочий ток – 300 A (DC).
- Рабочее напряжение 120-135 V (DC).
- Напряжение холостого хода источника – не менее 220 V (DC).
- Напряжение импульса высоковольтного возбудителя – не менее 20 kV при мощности импульса –не менее 10 J.
- Система охлаждения – жидкостная. Охлаждающая жидкость – очищенная вода или антифриз, сопротивлением – не менее 1 MΩ/сm. Давление охлаждающей жидкости на входе – не менее 3 Bar. Расход охлаждающей жидкости – не менее 50 L/min.
- Рабочее давление на выходе (в технологической камере реактора) – не более 0.1 Bar.
- Конструктивно оптимизирован для наружного монтажа на фланцы вакуумных камер. Конструктивно объединен с устройством дозирования порошка рабочего материала. Тип фланца может быть изменен по желанию заказчика.